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小尺寸传感应用的高电感平面线圈的设计和制造

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  • 更新日期:2018-07-05 15:04:48
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详细介绍
这项工作致力于设计和制造具有大量匝数(> 100)和高达32μH自感的小型平面线圈,适用于增强电感式传感器的性能。首先,改良后的惠勒公式用于确定最佳匝数以实现最高电感。 然后,介绍一种简单在硅衬底上溅射铝的基于感应耦合等离子体(ICP)蚀刻的工艺流程,并讨论了工艺的关键方面。
 
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