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针对功率MEMS器件而设计的高电感密度3D MEMS片内螺线管电感器

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  • 更新日期:2020-06-03 10:07:20
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详细介绍
在本文中,我们报告了3D电磁电感的设计和测量,该电感嵌入在Si基板中并且可以集成铁芯。通过兼容CMOS的MEMS制造工艺,我们制造出具有良好结构完整性和可重复性的各种电感器设计。电感器的平均电感和品质因数峰峰值变化低于10%,这表明制造工艺是可重复的。
 
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