MEMS传感器发展史
2021-03-03 17:07:52 来源：芯片失效分析实验室 点击：730
【哔哥哔特导读】第二阶段是从2000年到2010年，驱动力为消费电子的快速发展。消费电子产品如手机、平板电脑、笔记本电脑等要求MEMS传感器产品有更小的体积和更低的能耗表现。
MEMS传感器发展历程
第一阶段是从1990年到2000年，汽车的电子设备以及应用逐渐增多推动MEMS传感器应用落地，例如：安全气囊、制动压力、轮胎压力监测系统等。对这些需求的增长，使得欧洲、日本和美国的企业开始研发并且大量生产汽车周边所用的MEMS传感器产品;
第二阶段是从2000年到2010年，驱动力为消费电子的快速发展。消费电子产品如手机、平板电脑、笔记本电脑等要求MEMS传感器产品有更小的体积和更低的能耗表现;
第三阶段是从2010年到2020年，物联网产业的快速发展，使得MEMS传感器行业拥有了巨大的发展空间。除了智能手机、平板电脑等消费电子之外，MEMS传感器将会在AR/VR、智能手表、智能驾驶、智慧物流、智慧医疗等领域广泛应用。
第四阶段是从2020年起，随着自动驾驶、5G发展以及物联网普及，MEMS的发展空间被进一步拓展，通过提高MEMS传感器产品各项性能，以满足更小、更低能耗、更高性能的需求。
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传感器市场中,又分为不同类型,其中MEMS传感器占据了整体传感器市场规模的一半以上。
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随着人们对汽车智能化、安全化的追求日益凸显，汽车电子的市场需求不断增长，而对汽车电子起核心作用的元件当属传感器。
在20世纪30年代，主要是机械式传感器。到20世纪50年代，传感器大部分采用机电结构，出现分立式传感器。到70年代，随着微电子技术的发展，如IC工艺的引入，应用MEMS技术，出现MEMS传感器。80年代，片上集成工艺的引入，推出单片集成传感器。
微纳感知官网显示，该公司是一家专注于MEMS传感器研发、生产、销售的国家级高新技术企业，由中国科学技术大学留学归国人员创办，拥有多项涉及MEMS关键技术的专利和研究成果。
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