近年来，受移动通信、物联网、医疗、汽车等应用需求的影响，MEMS传感器市场正在迅速崛起。相比传统的机械传感器，MEMS传感器具有微型化、重量低、功耗低、成本低、多功能等诸多竞争优势，广泛应用于汽车、消费电子、医疗、航天航空、通讯等领域。然而，MEMS传感器技术在以上领域仍会面临技术上的挑战，例如传感器性能、精度、功耗等。
因此，为了推动MEMS传感器技术的进一步提升，促使其向更多新兴领域发展以及带来更多可感知的价值，《半导体器件应用》杂志真诚向业界专家、学者和研发设计人员征稿，加强同行对各类MEMS传感器技术与器件的了解，期待共同将其打造报道业界的最新研究成果、技术动态，以及融汇一线研发设计人员的应用和创新设计思想的优秀专栏。
主要涉及微型机构、微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路、直至接口、通信、电源、芯片以及相应的配件或系统、测试设备、产品设计、技术研发、加工工艺、应用材料、标准进展相关的理论分析、技术动态、发展趋势及市场评述等文章。
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