局部放电检测：具有两个谐振频率的MEMS光纤超声传感器
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- 更新日期：2020-07-03 14:22:58
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详细介绍
本文展示了一种新颖的光纤外在法布里-珀罗干涉（EFPI）超声传感器，该传感器具有两个共振频率，可检测开关设备中的局部放电（PDs）。关键的感应元件由两个5 µm厚度、束支撑的硅膜片组成，膜片彼此的固有频率不同，从而使得传感器能够在两个不同的频率上获得共振响应，以获得更宽的频率响应。
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