一种采用磁性薄膜制造的微型线阵RF集成电感器
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- 更新日期：2012-05-09 15:05:47
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详细介绍
采用一种具有零磁致伸缩特性的磁性薄膜CoNbZr经过精细制作，与磁膜难磁化轴垂线的长度方向相垂直地和水平地构成一个导线微型线阵，经180℃范围退火处理的样品，具有很小的矫顽力和良好的磁导率。利用具有线宽/间距=9μm/2μm的微型线阵制成的RF电感器，显示出具有L=7.5nH（为空气芯的+11%），R=7.6Ω和Q=6.3（几乎与空气芯的R和Q值相同）。
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