摘要：  一直以来，我国半导体照明产业与国际先进水平存在诸多差距，如核心设备及部分原材料依赖进口、外延芯片缺乏核心专利、测试方法及设备支撑不足等。而作为LED芯片生产核心设备，MOCVD(金属有机化学气相沉积)设备有望率先告别“进口依赖”。

关键字：  LED芯片，外延芯片，半导体照明

一直以来，我国半导体照明产业与国际先进水平存在诸多差距，如核心设备及部分原材料依赖进口、外延芯片缺乏核心专利、测试方法及设备支撑不足等。而作为LED芯片生产核心设备，MOCVD(金属有机化学气相沉积)设备有望率先告别“进口依赖”。

光达光电设备科技日前推出国内首台自带高亮度LED工艺MOCVD产品，标志中国企业在LED芯片生产核心设备国产化道路上取得新突破。

光达光电首席技术官梁秉文介绍，光达光电MOCVD设备将自带超高亮度LED生产工艺，如同照相机领域的“傻瓜机”，可以让技术人员更容易操作，从而降低企业人工及运营成本。目前，光达光电已完成其MOCVD设备的调试，并与部分国内客户达成合作意向;与此同时，公司正在进行更高技术规格产品的开发，预计2013年出货。

MOCVD设备实现国产，意义非凡。近年来，凭借高效节能、绿色环保等特点，LED产业在国内获得快速发展。据科技部发布的《半导体照明科技发展“十二五”专项规划》，到2015年，LED产业规模预计将达到5000亿元。

而作为生产LED芯片的关键设备，我国MOCVD设备近年绝大部分依赖进口，市场被欧美企业垄断。

数据显示，MOCVD设备采购近两年出现“疯狂”增长，2010年前中国大陆MOCVD总装机量只有150台左右，2010年年底增至350台，2011年年底更是达到近700台。而有统计显示，截至2012年11月底，国内量产MOCVD设备数量已达到909台。

专业研究机构SEMI中国资深分析师兼LED项目经理戚发鑫告诉记者，近两年中国大陆的MOCVD设备增速已位居全球首位，同时也成为全球两大MOCVD设备企业AIXTRON(爱思强)和VEECO(维易科)的最大收入来源。

在业内人士看来，量产型MOCVD依靠进口，严重制约着国内LED产业的自主化发展。据介绍，一台进口MOCVD设备的售价目前约为1500万元左右。

为打破国内LED产业受制于人的局面，科技部发布的《半导体照明科技发展“十二五”专项规划》明确提出，“十二五”期间将“实现大型MOCVD设备及关键配套材料的国产化”。

遵循这一发展思路，从2011年开始，国内包括思捷爱普、理想能源等在内的多家LED设备企业开始尝试推出国产化MOCVD设备。截至2012年年底，国内已有近20家企业和科研团队宣布涉足MOCVD设备技术研发。

光达光电有关负责人表示：“历史已经到了一个转折点，中国LED产业需要有实力的、属于自己的MOCVD公司的出现，以提升整个LED产业的技术及创新能力。”