装有电容位移测量验证的压电控制器，本质就是压电控制器，但与一般压电控制器不一样的是，它附加装有电位移测量模块，该测量模块可用测量微运动产品的偏移量，检测范围一般为0~200μm。该压电控制器的作用及操作方法。

作用1：可用以验证闭环压电式纳米定位系统的偏移量

闭环压电式纳米定位系统是可进行位移闭环控制的压电纳米运动定位系统，能够实时反馈以及控制，压电促动器的运动位移量，在该系统中，配置的压电控制器为闭环压电控制器，它由功率放大模块、闭环伺服模块、供电模块构成，可选装上位机控制模块。

闭环压电控制器加装电容位移测量，即可进行压电纳米定位系统自身的位移量的测量。

作用2：开环压电纳米定位系统的位移量验证测量。

开环压电纳米定位系统是进行基本运动控制的压电纳米运动定位系统，能够控制压电促动器的运动位移量，它由功率放大模块、供电模块组成，可选配上位机控制模块。

该系统加装电容式位移测量模块后，能够测量压电纳米定位系统自身的位移量。

作用3：压电纳米定位系统的闭环控制

在开环压电纳米定位系统中加装电容位移测量模块，可作为压电控制器的伺服控制，整个系统形成闭环控制。同时集成了电容位移测量的压电控制器，它也具备“作用2”的功能，可测量系统自身位移量。

作用4：可测量运动设备的位移量

若您正应用别的压电式运动装备，位移范围在0~200μm内，也可使用电电容传感器的压电式控制器测量。