摘要：  硅基板技术日渐成熟，且成本及电性均比蓝宝石基板更富优势，越来越多的厂商尝试使用该技术来打造LED，LED业者认为，短期内硅基板LED在规格及亮度表现仍显不足，与蓝宝石基板还是有落差，但若第1个硅基板量产品推出后，将有益于良率改善，预计两年内就可看到首批硅基板量产品。

关键字：  硅基板，蓝宝石基板，台积电，量产

硅基板技术日渐成熟，且成本及电性均比蓝宝石基板更富优势，越来越多的厂商尝试使用该技术来打造LED，其中，包括日前才宣布量产的台积电固态照明 ( TSMC SSL)，以及美国Bridgelux与日本东芝 ( Toshiba )的组合。LED业者认为，短期内硅基板LED在规格及亮度表现仍显不足，与蓝宝石基板还是有落差，但若第1个硅基板量产品推出后，将有益于良率改善，预计两年内就可看到首批硅基板量产品。

日前所举办的LEDforum邀请美国设备大厂Veeco说明Gan -on-Si(硅基板氮化镓)的进展，预期8吋设备将是未来市场新焦点，而德国设备大厂Aixtron除谈到Gan-on-Si，也推出采用MOCVD设备，用更高温制程来打造电源装置，目前已经有厂商购买并切入电源市场，而日本设备大厂大阳日酸也推出Gan-on-Si的MOCVD设备产品，并强调利基市场。

此外，LED大厂Cree也推出不用蓝宝石基板技术的LED，以SiC(碳化硅)为基础打造LED，诉求高效能，而南韩LED大厂首尔半导体更是来台演讲最新的nPora技术，这是与蓝光LED之父中村修二合作的成果之一，采用Gan-on-Gan(氮化镓基板)技术，这种Gan基板的厂商相对较少，但已经陆续有出货规模，能够比传统的蓝宝石基板更适合打造LED晶片。

Veeco指出，虽然蓝宝石基板目前仅约占LED元件成本的10%，但在市场价格激烈竞争且业者的成本压力下，将推动硅基板技术提前成熟，原本市场预期2015年才会成熟的技术，按照目前技术发展进程来看，预计再1~2年间就可看到首批硅基板量产品，届时硅基板的成本价格将较蓝宝石基板再低90%，拥有极佳的价格优势，但估计这将使得LED晶粒厂须提早面临技术转换问题。

据晶电表示，目前已与工研院和其他台厂合作研发。更多厂家已经开始为此新技术做准备。