MEMS—小型电子器件机械系统软件是运用传统式的半导体材料加工工艺和原材料，集微传感器、信号分析和控制回路、微执行器、微机械机构、接口、通讯及电源于一身的小型器件或系统软件，具备体型小、低成本、集成度高的特性。

伴随着自然环境需求越来越高，“三大根基”之一的气体传感器有希望变成物联网技术垂直行业中首先落地的闪光点运用。另外，选用mems技术解决方法的气体传感器很可能是下一个集成在智能机或智能穿戴设备的最好的选择。

MEMS基本原理及归类

运用mems加工工艺在Si基衬底上做微发热板，所应用的气敏原材料是在清理空气中导电率较低的氢氧化物半导体器件。当传感器所处有气体的环境里，传感器的导电率随空气中被检验气体的浓度值而发生改变。该气体的浓度值越高，传感器的导电率就越高。

系列产品选用MEMS加工工艺，构造牢固，耐久性好;具备规格小、功能损耗低、敏感度高、回应修复快、驱动电路简易、可靠性好、长寿命。

优点：智能化认知，必然趋势

智能化系统：mems身为电子设备的“认知神经中枢”，根据添加微操纵模块和相对应信号分析优化算法，mems还能够担负全自动调零、校正和校准等作用，完成智能终端的智能化系统。

高宽比集成化和组成化：因为设计空间、成本费和功能损耗费用预算日益缩紧，在同一衬底上集成多种多样比较敏感的元器件、做成可以检验好几个参数的多用途组成MEMS传感器变成关键解决方法。

功耗低：伴随着物联网技术等运用对感测器有了更高的需求，mems传感器应用总数大幅度提升，耗能也将随着翻番。减少MEMS功能损耗，提高续航能力的要求可能会贯穿传感器的发展，且日趋明显。

运用：百花争艳，丰富多彩

mems是获得信息的重要通道，MEMS气体传感器已在安全防范、空气指数、工业生产安全性、健康监测等行业中获得了普遍的运用。

安全防范层面

餐厅厨房天然气泄漏

煤业行业

有害气体检验

空气指数层面

空气净化机

通风空调

家用新风系统

工业生产安全性层面

油气田钻探

冷冻

化工制造行业

健康监测层面

酒精检测仪

迷你型检查仪

身心健康监测仪

除此之外，MEMS技术性在消费性电子器件、电力能源、车辆、国防安全及生物医疗等行业也是有广泛运用，为各个领域带来自动化技术、智能化系统的api接口，mems将为天地万物赋灵。