小型化是MEMS传感器技术的具体发展趋势之一，也是科学研究技术的快速发展及其时代的快速发展对传感器的要求。MEMS微电子机械系统(Micro Electro-Mechanical System，MEMS)技术的发展趋势是微机械MEMS传感器形成的直接驱动力。很多都觉得MEMS技术将刮起下一-次工业科技革命，微机械传感器是当前非常成功且最具备实用意义的MEMS设备。

与“一般的”或“基本的"传感器对比，微机械MEMS传感器不仅仅在尺寸上按百分比变小。微机械传感器在原材料、生产加工方法运用标准等层面，与传统的的传感器都是有挺大的不一样的。综合各种各样的参考文献得到，微机械传感器包括3个方面的含义。

(1)微机械传感器指的是单一的传感器。这类传感器的一个鲜明特点便是尺寸小。在生产中，关键选用精密机械加工、微电子技术及其MEMS技术，促使传感器的尺寸大大的减少。

(2)微机械传感器也指一个集成的传感器。这类传感器将细小的光敏电阻器、信号转换器、数据处理设备封裝在一块集成ic上，产生集成化的传感器。

(3)微机械传感器，指传感器系统。在这个体系中，不仅包括传感器，还包括微电动执行机构，能够单独工作。除此之外，还能够由好几个微机械传感器构成传感器互联网或是利用别的互联网完成外地连接网络。