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新款PHEMOS-X半导体扫描仪
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新款PHEMOS-X半导体扫描仪

2021-10-15 13:57:01 来源:OFweek激光网 点击:1158

【哔哥哔特导读】滨松光电新型半导体故障分系统PHEMOS-X,该设备内部了新型多波长激光扫描仪同时结合了公司的“独特的内部光学设计技术”,实现了可见光导近红外线来分析缺陷。PHEMOS-X相对与传统的激光扫描仪优势能够给抑制五种激光器中的光学损耗。

前不久,滨松光电开发设计了新式半导体常见故障分析系统PHEMOS-X C15765-01,该系统运用能见光到近红外线来分析缺点。往往能在单个设计中完成这一点,是由于选用了新式多波长激光扫描仪,并融合了该企业所说的"独特的內部光学设计技术"。

半导体

滨松光电:"通过使用本企业内部的光学设计技术,并重新开始设计了分析系统的构件,如用激光扫描半导体器件的激光扫描仪,精准定位半导体器件的光学台,宽视场观查的微距镜头等。这样一来,灵敏度,分辨率,准确度和易用性都更好了,这些功能相对目前的系统都有很大的提升。"

设计和实际操作

PHEMOS-X是一种半导体故障分析系统,可配置高达5个激光发生器,输出光波长从能见光到近红外线不一。PHEMOS-X仅用一台机器设备就可以高灵敏,高分辨率精准定位故障。

当想半导体设备增加电压时,半导体设备中的故障点会传出光和热。在对半导体器件增加电压时,用激光扫描半导体器件,会使故障点的电流和运行状态产生变化。

通过这些特性,检测代表施加电压引起的半导体器件变化的信号,进行激光扫描,并将这些信号一图像的形式可视化,就此能够估算出故障位置。

光损耗抑制

传统式的激光扫描仪是专门为光波长为1300纳米技术的近红外线设计的。"根据PHEMOS,重新设计了激光扫描仪的光学系统,它还可以抑制五种激光器中的光学损耗。

"因而,只需一台机器设备就可以开展半导体故障分析,运用从532纳米技术的能见光到1340纳米技术的近红外线的多光波长激光束。对比以前应用光波长较短的激光,能够更具体地观查半导体器件。它还能保证高灵敏,以找寻和观查输出功率半导体的问题点,这种问题点对不可见光有反映,而非一般半导体的红外线。"

以上便是滨松光电新型半导体设备的介绍,希望对你有所帮助。

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