在本文中,我们报告了3D电磁电感的设计和测量,该电感嵌入在Si基板中并且可以集成铁芯。通过兼容CMOS的MEMS制造工艺,我们制造出具有良好结构完整性和可重复性的各种电感器设计。电感器的平均电感和品质因数峰峰值变化低于10%,这表明制造工艺是可重复的。
针对电压源型单相PWM逆变器开关管短路故障,本文提出了一种基于电压矩形的新颖故障检测方法。相比于常规的故障检测方法需要同时采集相电流,PWM门控信号等信号,而所提出的方法仅需采集逆变器输出电压。在非故障情况下,利用开关状态值的变化构造电压矩形平面。